AE הכריזה על מערכת חשמל לתהליכי פלזמה מהפכנית ומרחיבה את היכולות של התאמת המצב המוצק ופתרון הגנרטור RF וההתאמה המשולב המובילים שלה
דנוור, קולורדו, 6 באוגוסט 2020, (BUSINESS WIRE):
Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) – מובילה גלובלית בפתרונות מדויקים ומאוד מתוכננים של המרת חשמל, מדידה ובקרה – הודיעה שחשפה שלושה פתרונות חדשים לעיבוד פרוסות שבבים של צומתי טכנולוגיה מתקדמים בכנס הווירטואלי SEMICON® West 2020 שהתקיימה בין 20 ו-23 ביולי.
"ייצור השבבים גדל ומשתנה במהירות עם עלייתה של המהפכה התעשייתית הרביעית. AE נמצאת בחזית עם פתרונות חשמל שמאפשרים תכונות קטנות יותר, תהליכים מהירים יותר, בקרה הדוקה יותר ועלות בעלות נמוכה יותר, שהלקוחות שלנו מסתמכים עליהם כדי לייצר את השבבים שמזינים את כלכלת הנתונים", אמר פיטר גילספי, סגן נשיא ומנהל כללי, שבבים, Advanced Energy. החשמל בתהליכים, שבעבר היה כמעט חבוי מהעין, מוכר עכשיו יותר ויותר כמאפשר קריטי בעיבוד של פרוסות. אנחנו מצפים לשתף את המוצרים שלנו "שמחשמלים את התהליך", וגם להציג, בפעם הראשונה, מוצרים "שמחשמלים את הפלטפורמה" עם תיק מוצרי החשמל המשובץ של ארטזין של AE.
פרסום
AE הציגה פתרונות חדשים רבי ערך של מערכות שמשנים את האופן שבו תהליכי פלזמה מקבלים חשמל:
eVoS™ LE: AE הציגה את פלטפורמת eVoS שלה, טכנולוגיית חשמל לפלזמה לא סינוסואידית חדשה לגמרי שמאפשרת בקרת אנרגיית יונים מאוד ממוקדת, שנעשית יותר ויותר חשובה בתהליכי צריבה ודפוזיציה מתקדמים שמשמשים ליצירת תכונות מכשירים בחזית הקידמה ב-5nm ומטה. eVoS, שמהווה חלופה לחשמל לפלזמה עם נטאי RF סינוסואידי קונבנציונלי שמשתמש במערכות מורכבות עם תדירויות מרובות, מיועדת להפיק פיזורי אנרגיית יונים צרים בהתאמה ספציפית בפתרון אחד. הפתרון של AE מאפשר בקרה יותר ישירה על פיזורי אנרגיית היונים, יותר יעילות של נטאי החשמל ופחות אובדן הספק מאשר הפתרונות הקונבנציונליים, כל היתרונות שנחוצים כדי ליצור תכונות יותר ויותר מאתגרות לשבבים תלת מימדיים. eVoS LE (אנרגיה נמוכה) מציעה בקרת הספק מדויקת ליישומים קריטיים מבוססי פלזמה, כמו צריבה בשכבה האטומית (ALE), צריבה, ניקוי, דפוזיציה ודפוזיציה בשכבה האטומית (ALD).
Navigator® II FCi: על בסיס ההצלחה של פלטפורמת רשת תיאום העכבות שלה המובילה בענף Navigator II, AE הציגה את Navigator II FCi, רשת תיאום מצב מוצק חדשה ומהירה יותר שמשפרת את טווח הערכים, המהירות וההכוון בהשוואה למוצרי רשתות תיאום סטנדרטיים. Navigator II FCi שמבוססת על טכנולוגיית דיודת-PIN מאוד מהירה, משלימה את רשת תיאום המצב המוצק הראשונה שהגיעה לשוק Navigator II FastCap™ של AE, מרחיבה את טווח ההספק והעכבה ומשפרת את זמני התגובה לפחות ממילי שניות. ללא חלקים נעים, האמינות וההדירות של Navigator II FCi עולה על אלה של תיאומי קבלי ריק מסורתיים. Navigator II FCi זמינה כדי לאפשר יישומי ALE מתקדמים עם יכולות שהורחבו כדי לתמוך במגוון מתרחב כל הזמן של יישומים כדי לעמוד בדרישות החדשות של השוק. טכנולוגיית הדיודת-PIN המאוד מהירה זמינה עכשיו גם במערכת הספקת החשמל RF המשולבת החדשה תיאום וגנרטור, Paramount HFi.
פרסום
Paramount® HFi: היתרונות של מערכת חשמל RF משולבת עתירת ביצועים עם עלויות נמוכות, מגיעים בשטח הקטן של Paramount HFi, שעונה על הדרישות המחמירות ביותר של כלי הדפוזיציה הכי מתקדמים של היום. AE פיתחה את מערכת ההספקה המשולבת במלואה תיאום וגנרטור הישימה מבחינה מסחרית הראשונה בתעשייה בשנת 2000 במוצר שלה Apex. Apex הוא עדיין סוס עבודה של חשמל RF לדפוזיציה, שמסוגל לעבור בין ארבעה מציבים בדידים של טווח הכוון. Paramount HFi החדשה מרחיבה מאוד את הרעיון הזה עם 32 מצבים של טווח הכוון, מערכת בקרה משופרת דיגיטלית במלואה וחיישן VI חדש (מטרולוגיית RF). עם היכולות החדשות האלה וחלון הפעולה המורחב שלה, Paramount HFi מספקת בקרת תהליכים מתקדמת, נשנות גבוהה, מצב מעורר משותף כדי לסנכרן מערכות מרובות בתצורות אשכול ופרוטוקול תקשורת מתקדם (EtherCAT). הגודל הקומפקטי של Paramount HFi, זמני התגובה של מילי שניות והאמינות הגבוהה עושים אותה לאידיאלית לשלבי תהליך הדפוזיציה עם המשך הקצר של היום, וכשמהירות ואמינות נחשבים יותר ויותר למאפשרים קריטיים בעיבוד של NAND מתקדם והתקני מחסנית אחרים עם הרבה חזרה.
מומחי המוצרים של AE אירחו תצוגות מקדימות של מוצרים ופגישות עם משתתפי התערוכה באמצעות הביתן הווירטואלי של AE במהלך SEMICON West 2020. בשנתה ה-50 עכשיו, SEMICON West היא אירוע ראשון במעלה של התעשייה שנמשך ארבעה ימים של מצגות, עם תוכנית עסקית וטכנולוגית של יותר מ-80 שעות ויותר מ-500 מציגים שמספקים את התובנות, החידושים והבינה שארגונים צריכים כדי לאמץ את הסביבה המשבשת של היום. מחומרים, ציוד, תכנון, ייצור, שילוב מערכות וערוצי ביקוש ועד לתחומים אנכיים וסמוכים חדשים, המשתתפים מקבלים גישה לטוב ביותר בעסק וזוכים להצצה לעתיד חדש באופק.
